pcb电镀沉铜药水控制工艺参数

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1、 平板现行工艺参数及其控制范围、监测频次 缸名/容积 控制项目 控制范围 调整值 分析频率 温度 2530 28 1 次/8h H2SO4 1050 ml /L 30 ml/L 3 次/周 酸性除油 7号 FR 1050ml/L 30 ml/L 3 次/周 浸硫酸 450L H2SO4 60100ml/L 80 ml/L 1 次/周 H2SO4 100120ml/L 110 ml/L 3 次/周 硫酸铜5 水 6080g/L 70 g/L 2 次/周 Cl -40-70ppm 55 ppm 2 次/周 赫氏槽片 3 次/周 镀铜缸 1318 温度 2028 24 1 次/班 退镀缸 56缸 H

2、NO3 250280g/L 260 g/L 2 次/周 平板现行开缸及补充、换缸要求 缸号 缸名及 容积 配缸步骤(按顺序) 补充、换缸要求 操作条件与要 求 温 度 282 7 酸性除油 450L 加入1/2体积DI水，加入硫酸 （50%）35 L，再加入除油剂FR 15L，加DI水至合适液位。 化学室分析补加 8000500 m 2 更换 颜 色 开缸无 色，之后 淡蓝色 温 度 室温 10 浸硫酸缸 450L 加入 1/2 体积DI水，加入 50%硫 酸 90 ；加入DI水至合适液位 L 1.5L100 m 25000500 m 2 更换 颜 色 开缸无 色，之后 淡蓝色 温 度 20-

3、28 过 滤 10m 滤 芯，每月 更换 打 气 打气充分 液 位 低于阳极 袋口 2-2.5cm13 、 14 、 15 、 16 、 17、 18 镀铜缸 (共有6 个 大铜缸，两 个集液槽总 体积 13000L) 加入1/2体积DI水， 小心加入50% H2SO4 3720 L 加入CuSO ， 45H2O 910 kg，加DI水至合适液位。 冷却后分析调整Cl - 含量， 调整氯 离子含量达到 5070ppm；加入 40 L酸铜添加剂，循环充分后 做赫氏槽片，根据试验效果添加 酸铜补充剂和酸铜添加剂进度 调整， （按 5：1 比例） ，化学室 分析并试产。 化学成分由化学室 分析调整。

4、酸铜补 充剂，酸铜添加剂 均采用自动添加， 一般为每 100AH 添 加 8- 10ml，特殊 情况下由工艺确 定。 颜 色 深蓝色 温 度 室温 42 退镀缸 300L 有退镀母液先加入退镀母液,， 然后加入HNO3(浓),按加硝酸量 的13补水,保证循环正常;化学 室分析并调整硝酸至合适浓度。 新配退镀缸需加硝酸 120L,加水 40L 1020L/1000 m 2颜 色 深蓝色 平板药缸工艺操作规范 药缸 名称 槽积 （L） 温度 范围 调整值 测量 频次 循环过滤 打气 槽寿命 酸性除油 450 25-30 28 1 次/天 有 无 8000 m 2 浸硫酸缸 450 室温 1 次/天

5、 无 无 镀铜 13000L 22-25 24 1 次/班 有 适当 退镀 300L 室温 1 次/周 有 无 工艺通知 图电工艺参数及其控制范围、监测频次 缸名/容积 控制项目 控制范围 调整值 分析 方法 分析频率 温度 25-30 28 员工实测 1 次/8h H2SO4 5-8% 6% 化学分析 1次/天 酸性除油 900L FR 5-8% 6% 化学分析 1次/天 温度 25-30 28 员工实测 1 次/8h NPS 20-60 g 40 g/L 化学分析 1次/天 微蚀 480L H2SO4 40-60ml/L 50 ml/L 化学分析 1次/天 浸硫酸 480L H2SO4 6

6、0-100 ml/L 80 ml /L 化学分析 2次/周 H2SO4 100-120 ml /L 110 ml /L 化学分析 2 次/周 CuSO45H2O 60-80 g /L 70 g/L 化学分析 2 次/周 Cl -40-70ppm 55ppm 化学分析 2 次/周 赫氏槽片 化学室 2 次/周 镀铜缸 22400L 温度 20-28 23 员工实测 1 次/8h 预浸氟硼酸 480L 氟硼酸 25-45 g/L 35 g/L 化学分析 2 次/周 氟硼酸 100-160 g/L 130 g/L 化学分析 2 次/周 氟硼酸铅 812 g/L 10 g/L 化学分析 2 次/周 氟

7、硼酸亚锡 1220 g/L 16 g/L 化学分析 2 次/周 镀锡铅 4200L 温度 20-28 26 员工实测 1 次/8h 退镀缸 HNO3 200-280 g/L 250 g/L 化学分析 1 次/周 图电开缸及补充、换缸要求 缸号 缸名及 容积 配缸步骤(按顺序) 补充、换缸要求 操作条件与要求 温度 305 14/15 酸性除油 900L 加入1/2体积DI水，加入硫酸 （50%）140 L，再加入除油剂FR 54 L，加DI水至合适液位。 化学室分析补加 8000500 m 2 更换 颜色 开缸无色， 之后淡蓝 色 18 微蚀 480L 留母液50L左右，加入 1/2 体积 D

8、I水，加入 50%硫酸60L；再加 入20 kg NPS，最后加入DI水至 合适液位 每周更换 温度 283 温度 室温 22 浸硫酸缸 480L 加入 体积DI水，加入50%硫 酸 1/2 100 L ，加入DI水至合适液位 6.5L500 m 28000500 m 2 更换 颜色 开缸无色， 之后淡蓝 色 温度 20-25 过滤 10m 滤 芯， 每月更 换 打气 打气充分 液位 低于阳极 袋口 2-2.5cm 24-39 镀铜缸 (22400) 加入 1/2 体积DI水，小心加入 50% H2SO4 6400 L，加入 CuSO45H2O 1560 kg，加DI水 至合适液位。冷却后分析

9、调整 Cl - 含量，加入67 L酸铜添加剂， 循环充分后做赫氏槽片， 根据试 验效果添加酸铜补充剂和酸铜 添加剂进度调整， （按 5：1 比 例） ，化学室分析并试产。 化学成分由化学室 分析调整。酸铜补 充剂，酸铜添加剂 均采用自动添加， 一般为每 1000Ah 添加 8-10 ml，特 殊情况下由工艺确 定。 颜色 深蓝色 13 预浸氟硼 酸缸 加入1/2体积DI水， 加入氟硼酸 36L搅拌均匀；再加入DI水至合 适液位 每 200m 2 补充1L、 特殊情况由工艺人 员酌定 10 12 镀锡铅缸加入 1/2 体积DI水、加入氟硼酸 980 L、 氟硼酸锡182 L、氟硼酸 铅63 L

10、、加入硼酸84 kg (用 60 DI水预先溶解) 加锡添加剂B 126 L、 锡添加 剂A 84 L加入DI水至合适液位， 拖缸处理 30 分钟，电流密度 1.5A/dm2 。 定期补充硼酸(遇特 情况由有关工艺人员 酌定) 57 退镀缸 400L 有退镀母液先加入退镀母液,然 后加入HNO3(浓),按加硝酸量的 13补水,保证循环正常;化学室 分析并调整硝酸至合适浓度。 新配退镀缸需加水 60L,加硝酸 180L,开启循环,调整循环缸液 位,保证循环正常,化学室分析 硝酸浓度并调整铜离子浓度. 20L/1000m 2 温度 室温 图电药缸工艺操作规范 药缸名称 槽积（L） 循环过滤 打气

11、槽寿命 酸性 除油 900 有 无 8000 m 2微蚀 480 有 有 每周更换或铜含量超过35g/l换缸 浸硫酸缸 480 无 无 8000 m 2镀铜 22400 有 有 工艺要求 浸氟硼酸缸 480 无 无 10000 m 2镀锡铅缸 4200 有 无 工艺要求 退镀 400 有 无 工艺要求 4.2.3沉铜线各药水缸工艺控制要求：(罗门哈斯药水体系) 序 号 药缸名称 参考 时间 （min） 控制项目 规格范围 调整值 1 溶胀 340L 6-9 澎松剂MLB211 NaOH 温度 10%-13%-16% 30g/L-40g/L 70-80 13% 35g/L 75 2 凹蚀 430

12、L 9-12 KMnO4 K2MnO4 NaOH 温度 再生电流 40-60g/L 1.12 Cu 2+ 1.134 Pd 强度：55-75% 3-12g/L 20g 除 油 调 整 21# 1) 放入半缸DI水， 2) 加入34L除油剂CC3325，搅拌均匀； 3) 加DI 水至溢流位 4) 开启循环过滤及加热至工作温度。(67) 5000 微 蚀 17# 1) 放入半缸DI水； 2) 加入50%的硫酸 20 L； 3) 加入NPS 18.5 Kg, 4) 加D I 水至溢流位。 5) 开启过滤、打气及加热至工作温度。(28) 每周2次或 Cu 2+ 25g/L 酸 洗 14 1) 放入半缸

13、DI水， 2) 加入12.5L硫酸搅拌均匀。 3) 加DI 水至溢流位 1周 预 浸 12# 1) 放入3/4 缸 DI 水； 2) 加入80kg 预浸剂CP404，搅拌至完全溶解。 ， 3) 注入DI水至工作液位，开动过滤泵。 1到2年或 Cu 2+ 1.5g/L 活 化 11# 1) 放入3/4 缸 DI 水； 2) 加入85kg 预浸剂CP404，搅拌，并加热至42-44， 直至所有预浸剂溶解； 3) 开启过滤，并补充液位； 4) 加入6.8L CAT44，并搅拌均匀。 1到2年或 Cu 2+ 2g/L 化 学 沉 铜 3-4# 或 5-6# 1) 放入 2/3 缸 DI 水,开启打气；

14、 2) 加入38LC/P880E，开启打气，等待2-5 分钟； 3) 加入7.7L C/P880A，打气5 分钟； 4) 加入19L C/P880C，打气5 分钟； 5) 加入25.7L NaOH(300g/L) ； 6) 加入9.5L HCHO 搅拌均匀； 7) 加入DI水至工作水位 8) 循环过滤、搅拌均匀加热至温度控制范围。 每周倒槽 说明： 1) 除微蚀、预浸、浸酸外，其他各缸开缸后化学分析并根据分析结果进行调整， 但凹蚀缸KMnO4减 K2MNO4浓度40g/l时不作额外补充。 4. 2.7 药水颜色及循环过滤要求 缸名 过滤/循环要求 药水颜色及特征 膨胀缸 10棉芯，每周更换 浅

15、黄色，生产时不能有分层或混浊现象 凹蚀缸 强烈搅拌 深紫红色 中和 10棉芯，每周更换 开缸时无色，然后渐变为篮色，使用较久时 呈绿色 除油 10棉芯，每周更换 开缸时无色，然后渐变蓝色 微蚀缸 开缸时无色，然后渐变为蓝色 活化缸 5棉芯，每周更换 黑色，不能有混浊现象。Pd 浓度偏低时颜色 会偏浅 沉铜缸 10u 滤芯每周更换,循环:要 求 4-6 个循环/小时 天蓝色，反应时表面有一层小气泡，若反应 过于激烈为异常 各水洗缸 凹蚀后一级水洗为紫色；除油后一级水洗为 浅蓝色， 微蚀后一级水洗也为浅蓝色并清澈， 二级水洗应无色；活化后一级水洗乳白色, 其他每个水洗缸都应无色。 4.2.8沉铜自

16、动添加药水准备及自动添加频次设置 1)自动添加药水备料（满量生产） 沉铜液880A每天需备料12桶 沉铜液880E每天需备料10L 甲醛每天需备料15L 氢氧化钠每天需配制含300g/L的溶液 100L,每桶（50L）配制时先加半桶DI 水，加入NaOH 15 搅拌均匀,补充DI水，再搅拌均匀，待冷却后使用。 自动添加桶液位低于1/4 时必须及时补充药剂 4.2.1 各个药水控制范围 缸名 控制项目 范围 分析方法 分析频率 责任人 退膜温度 482 直接测量 1 次/班 操作者 退膜缸 氢氧化 钠 浓度% 34% 化学分析 1 次/班 化学室 pH 8.0-8.8 化学分析 1 次/班 化学

17、室 Cl -170-200g/l 化学分析 1 次/班 化学室 比重显示 1.190.01 目测 2 次/班 操作者 蚀刻缸 蚀刻温度 48-52 直接测量 1 次/班 操作者 HNO3含量 160-220g/l 化学分析 3 次/周 化学室 比重 1.30 -1.40 比重计测量 1 次/班 操作者 退锡缸 退锡温度 35-38 直接测量 1 次/班 操作者 4.2.2生产线开缸方法 缸名 体积 开缸方法 退膜缸 650L 加清水至缸液位 23 体积，将 25 Kg 氢氧化钠分次倒入配料桶, 加水搅拌溶解后倒入缸中。补充清水至合适液位。加入 100 200ml 消泡剂。开机循环，将药水泵入退

18、膜缸中，并开启加热使 升温至47以上方可使用。做板量15002000 块板换缸。 蚀刻缸 800L 泵入蚀刻母液650750L，分析各控制成份含量，并依情况用水、 稀氨水、 蚀刻液进行调整，开机循环并开启加热使升温至48-52 方可使用。 退铅锡缸 1000L 加入退锡母液 800L900L 分析硝酸含量，测量比重，并依情况 加退铅锡剂、硝酸至合适液位开机循环并开启加热使升到 35-40 。 4.2.3 自动加药系统控制（说明蚀刻自动添加原理及添加量） 蚀刻段：比重达到设定值(例如：1.193)时，开始自动添加蚀刻子液 PH 值低于设定值时，开始自动添加氨水 PH 值高于设定值时，开始自动添加

19、氯化铵 自动添加药水流量、添加频次每周由工艺确认、调整，每周对比重值、PH 值设定、校准， 由工艺负责。 4.2.4 生产控制项目 退 膜 蚀 刻 缸名 项目 退膜段 水洗段 上压 下压 退 锡 压力(psi) 2530 2025 2530 2025 2530 设定 47 48 36 温度 控制 472 45，52 35，38 0.5OZ 2.50.2 1.0OZ 1.60.2 2.0OZ 1.00.2 速度(m/min) 2.0m 2.3m/min 2.2m 2.7m/min 烘干段温度 555 备注：A.电镀后经补黑油的板件，干膜较难退下，可根据实际情况，适当降低退膜速度。 B. 孤立线路

20、易夹膜的板件应适当降低退膜速度。 C. 对于有平板加厚要求的板件，可根据实际情况适当降低蚀刻速度，一般比相应控制范围 降低0.2-0.4m/min。 5.0 蚀刻液配制 5.1 配制比例：配制50L 标准碱性蚀刻液配方 药品名称 级别 配制 氨水 工业级 18%（标准） 25L 氯化铵 工业级 12.5 硝酸钾 工业级 250300g 磷酸二氢钠 工业级 250300g 碳酸氢铵 工业级 250300g 硫脲 1 g 4. 1.3 工艺参数控制 流程 项目 控制范围 最佳控制值 磨刷压力 1.9-2.2A 2.1A 磨痕宽度 9-12mm 10.0mm 磨板 速度 1.8-2.3m/min 2

21、.0m/min 酸洗 H2SO4 2-3% 2.5% 烘干 温度 605 60 速度 1.7-2.3m/min 2.0m/min 热压辊温度 11010 115 贴膜 压力 45-60 psi (3.0-5.0bar) 55 psi 曝光级数 8-10级 9 级 曝光 真空度 85-99% 90% 显影压力 20-25 psi 22psi 显影温度 28-32 30 显影浓度（Na2CO3） 0.9-1.2% 1.1% 补充液浓度（Na2CO3） 0.9-1.2% 1.1% 露铜点 50-70% 55% 显影 显影速度m/min 1.4-1.6m/min 1.5m/min 露铜点：指冲板时刚好

22、能把干膜全部洗掉所走过的距离,此距离占整显影段的百分率, 例 如走在中间时停止，然后观察板面露铜的部分,若只有一半即为50。 4.1.4 重氮片工艺参数控制： 缸名 控制项目 范围 曝光级数 IMD-XT 重氮片（PhoTec21 级） 第二级透明，第三级有棕色 氨水速度 30 滴分钟 显影 显影温度 452 4.1.5 干膜存放 环境 温度要求 湿度要求 最长贮存时间 仓库 10-15 50-70% 3 个月 洁净间 20-24 50-70% 1 个月 4.1.6 生产参数测量频次 缸名 控制项目 范 围 分析方法 分析频率 水膜时间 20 秒 时间测量 1 次/周 酸洗浓度 23% 化学分析 2 次/周 磨板 磨痕宽度 9-12mm 宽度测量 1 次/周 曝光 级数 8-10级 曝光测量 1 次/班 Na2CO3 1.00.2% 化学分析 1 次/班 显影 补充液 1.00.2% 化学分析 1 次/班 显影压力 20-25psi 直接读数 1 次/班